一場(chǎng)疫情,導致當下全球半導體缺芯嚴重,讓中國認清短板的同時(shí)也發(fā)現了機遇。雖然國內自主研制暫時(shí)無(wú)法達到國際優(yōu)異水平,但是依然有眾多國內芯片企業(yè)在堅持不懈地進(jìn)行自主研發(fā),讓我們看到了中國企業(yè)的凝聚力與自強精神。
而半導體芯片的檢測是制造中不可缺少的一部分,是為提高保障生產(chǎn)芯片的質(zhì)量,因此其在整個(gè)制造流程中起著(zhù)至關(guān)重要的作用??的鸵曋腔蹤z測方案專(zhuān)為芯片制造保駕護航,更為助中國芯片制造一臂之力!芯片檢測中的難點(diǎn)問(wèn)題,就交給康耐視來(lái)一網(wǎng)打盡!
對準解決方案
晶圓和晶片對位
如今,半導體的特征尺寸為納米級,這就要求在執行制造工藝(如光刻、切割、引線(xiàn)接合和包裝)時(shí)具有超高的精度和對準。
挑戰Challenge
無(wú)論是在光刻工藝、晶圓探測和測試,還是晶圓安裝和切割過(guò)程中,視覺(jué)對準不良都會(huì )在機器的整個(gè)使用壽命期間造成數以千計的對位損壞晶圓。表現不佳的視覺(jué)系統會(huì )降低半導體設備公司的市場(chǎng)份額,并大大增加其支持成本。
解決方案Solutions
PatMax技術(shù)為晶圓檢測、探測、安裝、切割和測試設備提供穩定、準確且快速的圖案定位,以幫助避免這些問(wèn)題。PatMax使用獲得專(zhuān)利的幾何圖案發(fā)現算法來(lái)定位和對齊可變晶圓和晶粒圖案。它能以非常高的精度和可重復性對準晶圓和晶片,確保整個(gè)半導體制造流程中設備性能的可靠性。借助康耐視技術(shù)的幫助,OEM能夠優(yōu)化設備的整體性能,從而提高質(zhì)量和產(chǎn)量。
識別/可追溯性解決方讀取IC上的字符和代碼
半導體行業(yè)要求制造商對設備質(zhì)量和假冒偽劣產(chǎn)品實(shí)施更多的控制,因此集成電路芯片的可追溯性要從制造層面開(kāi)始。晶圓、晶圓載體、引線(xiàn)框架、晶片和成品封裝都有識別碼,必須在流程的每一步進(jìn)行讀取和驗證。
挑戰Challenge
在經(jīng)歷了費力的封裝測試過(guò)程后,半導體芯片最終擁有了它的識別號,其中包含了制造商信息和IC的技術(shù)規格。這個(gè)字母數字代碼被印在IC的頂部表面。這一信息的可讀性對于半導體制造商的內部和外部可追溯性至關(guān)重要。識別和確認這些信息傳統上是由基于規則的機器視覺(jué)完成的。然而,傳統的算法難以讀取激光標記或化學(xué)蝕刻在集成電路上的小和可變的文本字符串。其他影響可讀性的常見(jiàn)問(wèn)題是高度紋理表面和環(huán)境層壓,使圖像中的字符變形。
解決方案Solutions
康耐視深度學(xué)習技術(shù)解決了基于規則的圖像處理技術(shù)所不能解決的挑戰??的鸵暽疃葘W(xué)習字符識別工具使用內置庫讀取彎曲的字符串、低對比度的字符以及變形、歪斜和蝕刻質(zhì)量差的代碼,該庫預先訓練了一千多個(gè)字符。字符識別工具還提供重新訓練的能力, 因此用戶(hù)可以解決第一次沒(méi)有自動(dòng)識別的新字符或特定字符??焖俣鴾蚀_地讀取芯片的識別碼可以提高可追溯性,并確保捕捉到正確的信息,使其在未來(lái)需要時(shí)可以使用。
檢查/分類(lèi)解決方案集成電路引線(xiàn)外觀(guān)檢測
對于半導體制造商來(lái)說(shuō),衡量質(zhì)量的良好指標是“每片晶圓的成品率”。使用機器視覺(jué)和深度學(xué)習技術(shù)在流程的各個(gè)環(huán)節進(jìn)行缺陷檢驗,有助于及早發(fā)現問(wèn)題??的鸵暤纳疃葘W(xué)習技術(shù)可以幫助隔離制造過(guò)程中的缺陷原因,以便迅速采取糾正措施并記錄結果。制造工藝的優(yōu)化和缺陷的減少,可以增加產(chǎn)量。
挑戰Challenge
半導體制造商必須重視其集成電路芯片上針腳的掛擦、扭曲、彎曲或缺失等情況。芯片容錯率很低,如果存在任何缺陷,即使是在最表層,也會(huì )使芯片成為廢品。在整個(gè)半導體生產(chǎn)過(guò)程中,機器視覺(jué)用于嚴格地監控質(zhì)量和查找缺陷。然而,因為可能出現的缺陷類(lèi)型太多,所以使用規則式算法對檢測進(jìn)行編程是非常低效的。深度學(xué)習視覺(jué)軟件無(wú)需使用大量的缺陷庫即可幫助限制半導體缺陷并提高產(chǎn)量。
解決方案Solutions
康耐視深度學(xué)習為識別異常特征提供了一個(gè)簡(jiǎn)單的解決方案,甚至不需要使用“不合格”(NG) 圖像進(jìn)行訓練。工程師使用康耐視深度學(xué)習工具,從“合格”(OK) 的集成電路引腳圖像中學(xué)習。缺陷檢測工具學(xué)習芯片引線(xiàn)和引腳的正常外觀(guān)和位置,并將所有偏離的特征描述為有缺陷。這種機器視覺(jué)系統和深度學(xué)習軟件的強大配對使半導體制造商能夠實(shí)現更低的測試成本,并提高整體產(chǎn)品質(zhì)量。